د سیمیکمډکټر ویفر تولید کې، د لیتوګرافي پروسه یو مهم، دقیق ګام دی چې د چپ حاصل ټاکي. د ویفر جوړولو په پروسه کې د "د افشا کولو او امیجنگ اصلي" په توګه، لیتوګرافي ټول کاري جریان پوښي - پشمول د سپن کوټینګ، افشا کولو، پراختیا، ایچینګ، او لوند پاکول - او د چاپیریال پاکوالي، ناپاکۍ کنټرول، الکتروسټاتیک محافظت، او کیمیاوي مقاومت په اړه خورا سخت اړتیاوې وضع کوي. د مایکرون کچې دوړو ذرات، د ټریس ایون مهاجرت، او لنډمهاله الکتروسټاتیک خارجیدل کولی شي په مستقیم ډول د فوتو ریسیسټ نیمګړتیاوې، د نمونې غلط تنظیم، ویفر اکسیډیشن، او په سرکټونو کې مایکرو لنډ سرکټونه رامینځته کړي، چې د ټول ویفرونو سکریپ کولو لامل کیږي او د تولید لوی زیانونه رامینځته کوي. ډیری FABs د دوی د فوتو لیتوګرافي پروسو د حاصلاتو ښه کولو لپاره مبارزه کوي. حتی کله چې تجهیزات، پروسې، او چاپیریالي پیرامیټرې ټول په ترتیب سره وي، خنډ اکثرا په ظاهري ډول د لاس ساتنې مصرفي توکو کې پروت دی. عادي ټولګي 1,000 یا صنعتي درجې پاک خونې دستکشې د فوتو لیتوګرافي پروسې د خورا لوړ معیارونو لپاره په بشپړ ډول مناسب ندي.
ولې د لیتوګرافي په پروسه کې د عادي پاک خونې دستکشو کارول په کلکه منع دي؟
د پوډر پاتې شوني د فوتو مقاومت ککړتیا لامل کیږي
د سلفر او کلورایډ ډیر ایونونه د ویفرونو سرکټونه خرابوي.
جامد برېښنا له کنټروله ووته، چې د دقیق فوتولیتوګرافي ویفر کې د خرابېدو لامل شوه.
د موادو ټوټې کېدل او تویېدل، چې د تولید په پروسه کې د بهرنیو موادو نیمګړتیاو لامل کیږي
د LjieClean کلاس 100 پوډر نه پاک نایټریل دستکشې
سوزو لیډر د سیمیکمډکټر ویفر تولید سکتور باندې تمرکز کوي او د لیتوګرافي پروسې کې د درد ټکو ته رسیدګي کوي، موږ د 100 ټولګي ځانګړي پوډر فری، ټیټ ګاز لرونکي نایټریل دستکشې رامینځته کړې چې د ټول ویفر لیتوګرافي پروسې تولید اړتیاوې په بشپړ ډول پوره کوي، دوی د ډیری فابریکو او ویفر بسته بندۍ او ازموینې شرکتونو لپاره غوره محافظتي مصرفي توکي جوړوي.
۱. د ډای کلورایډ پر بنسټ د پوډر څخه پاکه پروسه: د فوتولیتوګرافي په پروسه کې د پوډر ککړتیا نشته
د سیمیکمډکټر ځانګړي کلورینیشن پاکولو پروسې په کارولو سره، دا طریقه د ټولې پروسې په اوږدو کې د مرستندویه اضافو لکه تالک، جوار نشایسته، یا سیلیکون غوړ اضافه کولو ته اړتیا نلري. دا د پروسې په اوږدو کې د اسانه تطبیق ډاډ ورکوي، د پوډر ذرات او د سیلیکون غوړ پاتې شوني له منځه وړي چې په سرچینه کې فوتوریزیسټ ککړوي، په دې توګه د فوتو لیتوګرافي پروسې کې د بهرنیو ذراتو نیمګړتیاوې په بشپړه توګه حل کوي.
۲ د څو مرحلو الټرا پیور اوبو مینځل د سلفر ټیټ، کلورین ټیټ، او آیون ټیټ مقدار ترلاسه کوي
د لوړ پاکوالي اوبو سره د ژورو مینځلو د څو دورو له لارې، د خامو موادو اضافه کونکي او د سطحې پاتې شوني لرې کیږي. د سلفر، کلورین، او محلول شوي فلزي ایونونو مینځپانګه په کلکه کنټرول کیږي، چې پایله یې ټیټ NVR (غیر بې ثباته پاتې شوني) کیږي. دا د ویفر اکسیډیشن، د کوټینګ زنګ وهلو، او ایچینګ نیمګړتیاو مخه نیسي، چې دستکشې د 8- او 12-انچ ویفرونو لپاره د لیتوګرافي غوښتنې پروسو سره په بشپړ ډول مطابقت لري.
د الیکټروسټاټیک حساس ویفرونو د ساتنې لپاره 3 په مولډ کې تعدیل شوي ESD محافظت
د سوداګریزو موجودو ضد جامد دستکشو برعکس چې لنډمهاله سپری کوټینګونه لري، ګونارز د نایټریل اساس موادو باندې د ان-مولډ ضد جامد تعدیل ټیکنالوژي کاروي. دا د سطحې باثباته او یونیفورم مقاومت تضمینوي، په ټوله پروسه کې په دوامداره توګه جامد بریښنا خپروي ترڅو د جامد جوړښت مخه ونیسي چې کولی شي د فوتوریزیسټ ماتیدو او دقیق ویفر سرکټونو ته زیان ورسوي. دا د اصلي لیتوګرافي مرحلو لکه افشا کولو او پراختیا لپاره مناسب دی.
۴ انعطاف منونکی او آرام فټ، د مایکرون کچې دقیق عملیاتو لپاره مناسب
د دستکشې مواد انعطاف منونکي دي او د لاس شکل سره سمون لري. د ګوتو په سرونو کې د غیر سلیپ جوړښت لرونکي ډیزاین سره، دا سپک او غیر دروند دی، چې دا د دقیق عملیاتو لکه د فوتولیتوګرافي ویفر اداره کول، د تجهیزاتو ډیبګ کول، او دقیق تفتیش لپاره مثالی کوي. دا غیر محدود حرکت چمتو کوي او د ټوټې کیدو مخه نیسي، په مؤثره توګه د لاسي عملیاتو په جریان کې د ناڅاپي خنډونو له امله رامینځته شوي زیان کموي. سربیره پردې، دا د فوتولیتوګرافي محلولونو او نرم اسیدونو او الکلیسونو په وړاندې مقاومت لري، او حتی د اوږدې مودې کارونې پرمهال د عمر یا اوښکې پرته دوامدار پاتې کیږي.
5
✅ دوه پوړیزه ویکیوم مهر شوی بسته بندي ثانوي ککړتیا له منځه وړي
بشپړ شوي محصولات د ټولې پروسې په اوږدو کې د 100 ټولګي پاک خونه کې د دوه پرتې ویکیوم مهر شوي بسته بندۍ په کارولو سره بسته کیږي، کوم چې دوی د ذخیره کولو او ترانسپورت پرمهال په بشپړ ډول د دوړو او رطوبت څخه جلا کوي. د کڅوړې په خلاصولو سره هیڅ ثانوي ککړتیا شتون نلري، دوی ته اجازه ورکوي چې سمدلاسه د 100 ټولګي لیتوګرافي پاک خونو کې وکارول شي.
د پوسټ وخت: جولای-۲۳-۲۰۲۶